納米定位臺(tái)的誤差來(lái)源復(fù)雜多樣，主要包括幾何誤差、熱誤差和非線性誤差三大類(lèi)。幾何誤差源于機(jī)械結(jié)構(gòu)的制造和裝配偏差，如導(dǎo)軌直線度誤差、垂直度誤差、角度偏差等。這些誤差會(huì)導(dǎo)致定位臺(tái)的實(shí)際運(yùn)動(dòng)軌跡偏離理想路徑，影響定位精度。熱誤差則是由溫度變化引起的，不同材料的熱膨脹系數(shù)差異導(dǎo)致部件變形，絲杠受熱伸長(zhǎng)會(huì)使工作臺(tái)的實(shí)際位移大于理論位移，導(dǎo)軌受熱變形會(huì)影響運(yùn)動(dòng)直線度。非線性誤差主要來(lái)自壓電材料的遲滯和蠕變特性，遲滯表現(xiàn)為電壓上升與下降時(shí)形變不一致，蠕變則是電壓不變時(shí)形變緩慢增加，這些特性使得電壓與位移之間呈現(xiàn)復(fù)雜的非線性關(guān)系。
幾何誤差的補(bǔ)償需要建立精確的誤差模型。通過(guò)激光干涉儀等高精度測(cè)量設(shè)備，對(duì)定位臺(tái)的各項(xiàng)幾何誤差進(jìn)行精確測(cè)量，獲取誤差數(shù)據(jù)。然后運(yùn)用數(shù)學(xué)方法對(duì)這些誤差數(shù)據(jù)進(jìn)行分析和處理，建立誤差模型，常見(jiàn)的模型有多項(xiàng)式模型、神經(jīng)網(wǎng)絡(luò)模型等。基于建立的誤差模型，在定位臺(tái)運(yùn)動(dòng)過(guò)程中，控制系統(tǒng)根據(jù)當(dāng)前的位置信息，實(shí)時(shí)計(jì)算出誤差補(bǔ)償量，并將其疊加到原始的運(yùn)動(dòng)指令中，從而實(shí)現(xiàn)對(duì)幾何誤差的補(bǔ)償。例如，當(dāng)定位臺(tái)在X軸方向上存在與位置相關(guān)的直線度誤差時(shí)，控制系統(tǒng)根據(jù)該位置信息和誤差模型，計(jì)算出對(duì)應(yīng)的誤差補(bǔ)償量，對(duì)運(yùn)動(dòng)指令進(jìn)行修正，使定位臺(tái)能夠按照補(bǔ)償后的指令運(yùn)動(dòng)，從而減小直線度誤差對(duì)定位精度的影響。
熱誤差補(bǔ)償?shù)年P(guān)鍵在于實(shí)時(shí)監(jiān)測(cè)溫度變化并建立精確的熱誤差模型。在工作臺(tái)的關(guān)鍵部位(如絲杠、導(dǎo)軌、電機(jī)等容易產(chǎn)生熱變形且對(duì)精度影響較大的部件)布置溫度傳感器，實(shí)時(shí)采集溫度數(shù)據(jù)。通過(guò)合理布置溫度傳感器，可以全面、準(zhǔn)確地監(jiān)測(cè)工作臺(tái)的溫度分布情況。然后建立熱誤差與溫度之間的數(shù)學(xué)模型，根據(jù)該模型對(duì)熱誤差進(jìn)行預(yù)測(cè)和補(bǔ)償。非線性誤差的補(bǔ)償則更為復(fù)雜，需要采用先進(jìn)的控制算法。機(jī)器學(xué)習(xí)方法(如神經(jīng)網(wǎng)絡(luò))具有較強(qiáng)的非線性映射能力，可對(duì)復(fù)雜的非線性誤差實(shí)現(xiàn)高精度擬合。通過(guò)大量測(cè)量數(shù)據(jù)對(duì)神經(jīng)網(wǎng)絡(luò)進(jìn)行訓(xùn)練，調(diào)整網(wǎng)絡(luò)權(quán)重和閾值，使輸出結(jié)果與實(shí)際測(cè)量的誤差高度一致。結(jié)合數(shù)值計(jì)算方法(如較小二乘法、遺傳算法)對(duì)模型參數(shù)進(jìn)行優(yōu)化求解，較終實(shí)現(xiàn)納米級(jí)定位精度的全面補(bǔ)償。
